PfeifferЗастосування молекулярних насосів на виробничих лініях з низьким рівнем радіації (LOW-E)
LOW-E (англ. Low Emissivity) - шкло з низьким рівнем випромінювання. Відносно тепловідбиваючого скла це новий тип енергозбережного скла. В даний час в міжнародному масштабі широко використовується технологія вакуумного магнетронного покриття (оффлайн-метод) для виробництва скла Low-E. Продається німецька компанія PfeifferМолекулярний насосУспішно застосовується до цього.
ПринципиСкло розміщується вертикально на поліці, подається в вакуумне середовище 10-1 Па, пропускається в відповідну кількість процесного газу (інертний газ Ar або реакційний газ O2, N2) і підтримує стабільність вакууму. Мішені Ag, Si і т.д. встановлюються в катод і встановлюються в магнітне поле в горизонтальному напрямку вертикально до катоду, що утворює магнетронну мішень. Використовуючи магнетрон як катод, плюс постійний або змінний струм, під дією високої напруги процесний газ іонізується, утворюючи плазму. У них електрони під спільною дією електричних і магнітних полів здійснюють високошвидкісні спиральні рухи, зіткнулися з молекулами газу, виробляючи більше позиціонів та електронів; Під дією електричного поля позитивні іони, після досягнення певної енергії, ударують катодну ціль, а ціль, яку розпилюють, осаджується на скляній основі, утворюючи тонку плівку. Щоб утворити рівномірний мембранний шар, катодна мішень переміщується назад і назад близько до скляної поверхні. Для того, щоб отримати багатошарову мембрану, необхідно використовувати кілька катодів, кожен катод рухається назад і назад на скляній поверхні, утворюючи певну товщину мембрани.
Німеччина Pfeiffer завоював користь клієнтів на ринку LOW-E за допомогою більш ніж 120-річного досвіду вакуумного виробництва та послепродажного обслуговування та технічної підтримки по всьому світу, німецький фон. Вон Арденн – найбільш типовий клієнт. PFEIFFERМолекулярний насосLOE-E виробнича лінія використовується в Xinyi скла, Південного скла і інших китайських гігантів виробництва скла.
PfeifferМолекулярний насосПереваги:
- Швидкість насосу від 1000 до 2000 л/с
- Для H2, He і Ar, CF4Висока швидкість
- Місце встановлення від 0 до 90 градусів, від 90 до 180 градусів
- Високий газообіг навіть при Ar, CF4
- Вбудований приводний блок TC 1200 для безпосереднього підключення до джерела живлення
- Корозійна стійкість на вибір
- Розширений інтерфейс: RS-485 і дистанційне управління; Профібус або Devicenet на вибір
- Класи IP 54 і Semi S2
- Стабільна і безпечна система роторних підшипників
- Сертифікати UL, CSA та TUV
- Проста установка