У багатьох додатках надчистого газу, таких як напівпровідникова промисловість, залишкова вологість в газі має вирішальне значення для нормальної роботи процесу обробки. Постійне відстеження вологості завжди було складним вимірюванням, яке вимагало використання складних аналізаторів вологості або дорогих аналітичних методів. Однак в даний час на ринку є простий, економічний і досить ефективний варіант вимірювання точки роси в Інтернеті, нижня межа якого досягає дивовижно низької температури -120°C (менше 1 ppb).В). Pura Transmitter, заснований на багаторічному досвіді виробництва та перевірки датчиків імпедантної точки роси MISSELL, поєднує стандартні промислові матеріали та виробничі процеси, щоб створити перший недорогий передатчик для виробництва напівпровідників та додатків надчистого газу. Вилучення Мінімальна межа вимірювання -120°C точки роси (1 ppb)В) Стабільні вимірювання, хороша повторювальність Високо інтегрований пристрій для відбору зразків Аналогові та цифрові виходи Проста установка Інтерфейс процесу VCR Компактний дизайн Модель дисплею/сигналізації необхідна
Технічні показники
Датчики Тип датчика Керамічний датчик вологості Розмір -120 ~ -40°C Точка роси (перевірена до -100 ~ -40°C) Точність ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (оцінка) Розвільна здатність 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C тиск мінімум 10-9 Торр; Максимум 24 МПа Поток газу 1 ~ 5 Нл / хв Електричний живлення Зазвичай 24 В постійного струму, мінімум 10 В ~ максимум 28 В, максимальний струм 25 мА Вихід Вихід 4-20 мА, діапазон відповідності регулюється спеціальним програмним забезпеченням, діапазон регулювання від 1 до 80°C (доступний як стандарт) Максимальне навантаження = 100 Ω + 50 Ω х (V-джерело живлення -8) Вивод стану помилки Стандартне повідомлення про помилку виходу наступне: 23 мА = збой датчика; 20 мА = перевищення верхнього межі; 4 мА = найнижча межа Механічні властивості Корпус датчика Нержавіюча сталь, 0,1-0,2 Ra мкм покриття внутрішнього полірування Порт з'єднання газових шляхів Преміум або OEM: 1⁄4 м VCR-інтерфейс Тип Pura Sensor: ½' м інтерфейс VCR Налаштування встановлення Преміум або OEM тип: 120.00мм довжини, кінцевий герметичний порт повітряного шляху. Немає необхідності зберігати порожніну трубопроводу 2 монтажні отвори M4 х 0,7, глибина 7 мм на підставі, розстояння 20 х 20 мм Тип Pura Sensor: підходить для ½' порту відеозапису, наданого користувачем Розміри Преміум або OEM: 120 х 35 х 150 мм Pura датчик 型: 132 х 35 мм вага Преміум або OEM: 450 г Pura датчик 型: 180г Упаковка Pura: двошарова упаковка, герметичне заповнення інертним газом Pura OEM або Pura Sensor Тип: одношарова упаковка Всі опційні аксесуари: незалежна упаковка Тип датчика має захисний корпус на кінці датчикового чіпу для транспортування та експлуатації