Гелійонний хромометр для аналізу тетрахлорсілану
Інструменти оснащені високочутливим детектором іонізації гелію, використовуючи технологію центрального різання компанії Huaei, клапани для проби мають
Подробиці про продукт
- Опис продукту
Гелійонний хромометр для аналізу тетрахлорсілануДля виявлення слідів забруднень в електронних промислових газах, невелика концентрація виявлення може досягти 5 ppb. Інструменти оснащені високочутливим детектором іонізації гелію, використовуючи технологію центрального різання компанії Huaei, клапани для проби мають захисні шляхи для здуху; Вся машина має багатоколонну конструкцію і оснащена системою автоматичної корекції тиску, щоб забезпечити кількість зразків різних субстанцій. Продукт був нагороджений Шанхайським високотехнологічним проектом A-класу.
Кремній (SiHCl)3Вміст (частина об'єму) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Дихлорсилікан (SiH)2Cl2Вміст (частина об'єму) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Метилдіхлорсилікан (SiCl)2CH4Вміст (частина об'єму) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Зміст металів та інших елементів | (Бор + Алюміній) (B + Al) / (мкг / кг) ≤ | —— | 0.1 |
Вміст (фосфору + мишка) (P + As) / (мкг / кг) ≤ | —— | 0.3 | |
Вміст галію (Ga) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Вміст антимонію (Sb) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Вміст індію (In) / (мкг / кг) ≤ | —— | 0.5 | |
Вміст кальцію (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст хрому (Cr) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Залізо (Fe) /(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст калію (к) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст натрію (Na)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст нікелю (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст молібдену (Mo) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст марганців (Mn) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Мідь (Cu) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст кадмію (Cd) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст кобальту (Co) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Зміст цинку (Zn) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 | |
Вміст ванаду (V) / (мкг / кг) ≤ | 1 | 0.5 |
Інтернет-дослідження