Огляд

Напупровідникові виробничі заводи, центри нанотехнологій, нанофастрики та інші точні виробничі та дослідницькі центри зазвичай поєднують чисті кімнати з активними фальшивими наземними системами, щоб задовольнити складні вимоги до об'єктів (трубопроводи, кабелі, газопроводи тощо) та підтримувати суворі стандарти чистоти. Така поверхня не підходить для виробничого, тестового та вимірювального обладнання, чутливого до вібрацій. Активна земля не може забезпечити необхідне спокійне вібраційне середовище для цих інструментів. Тихий острів TMC замінює частину активної наземної зони на "тихий острів", закріплений на нижньому нижньому поверхні, пропонуючи інноваційне рішення. Quiet Island включає в себе верхню частину платформи, сумісну з чистою кімнатою, і спеціальну для застосування та місця підтримку.

Зниження

Основні компоненти підтримки та основні технології Quiet Island** інтегровані в систему активного девібрації STACIS III. Ця "жорстка" система опори інерційного пом'якшення вібрації ідеально підходить для будь-якого вібраційно чутливого інструменту, який дозволяє таким інструментам працювати з високими стандартами в шумних умовах. STACIS III сумісний з автоматизованими інструментами для обробки пластинок, інструментами з високою роздільною здатністю для зображення електронних пучок, інструментами для фрезерування іонних пучок та будь-якими інструментами з пасивними або активними внутрішніми системами вібраційної ізоляції (див. нашу білу книгу про накладання активних вібраційних ізоляторів на активні вібраційні ізолятори). Крім того, він забезпечує *** вібраційну ізоляцію в широкому діапазоні частот. Крім того, конструкція "жорсткого монтажу" дуже жорстка, тому для більш високих, легких інструментів не виникають проблеми зі стабільністю.

Трубки та підставки

Надзвичайно міцні труби для підтримки ізоляторів STACIS розроблені досвідченою інженерною командою TMC і виготовлені нашим заводом ISO 9001 відповідно до високих стандартів та спеціфікацій зварювання. Кожен Quiet Island ретельно розроблений, щоб підходити для різних видів висоти підлоги, геометрії нижнього поверхні та розмірів інструментів. TMC встановлює тисячі пристроїв, що підтримують понад 200 різних моделей інструментів по всьому світу, і має великі знання та досвід розробки підтримки, яка задовольняє потреби STACIS та вашого об'єкта.

Жовстка платформа

Платформа складається з 4-дюймової (100 мм) сталевої пластини, розробленої та виготовленої TMC, в якій сталева пластина затримується навколо легкого, нестиснуемого, амортизованого матеріалу ядра. Шаровий ефект клеєння жорсткої сталі та ядра з епоксидною смолою до безшовного диска з нержавіючої сталі забезпечує надзвичайно високу жорсткість та структурну амбінацію. Великий поперечний переріз і вміст сталі створюють дуже високу загальну жорсткість. Верхня і бічна частини є єдиним корпусом з нержавіючої сталі, щоб зберегти чистоту, красу та цілісність. TMC може розробляти та виробляти платформи, спеціальні для конкретного застосування, включаючи розрізи, спеціальні форми, фіксовані отвори та вісні болти.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Переваги тихого острова

Інструменти, що використовують активну пізоелектричну дезіблікацію STACIS - TMC Industry**, конструкцію "жорсткого монтажу" та ізоляцію вібрацій від 0,6 Гц, сумісні з вбудованими ізоляторами.

Гнучкість модуляризації, налаштування та переорієнтування - кожна платформа налаштована відповідно до застосування клієнта, але на відміну від бетонних платформ, які можуть бути легко переналаштовані, якщо інструменти або характеристики землі змінюються.

Експертний досвід - TMC має великий досвід роботи з виробниками напівпровідників, науково-дослідними установами та надточними виробниками. Ми розуміємо наших клієнтів та їх потреби. Ми самі розробляємо і виробляємо.

продуктивність

На 24-дюймовому, 40-дюймовому х 60-дюймовому Quiet Island, на 4-х стійках STACIS,
Вимірювання пропускності під входом VC-C з землі

специфікації

Специфікації продуктивності

Вимоги до конструкції, розмірів, середовища та корисності ізолятора

Контролер DC-2020

Інші параметри

ІншіСтворення Quiet Island

Великі інструменти, які не мають специфікацій екологічної вібрації, зазвичай вимагають жорсткого і стабільного стійка, відокремленого від рухливої землі. Жовсткий Quiet Island є ідеальним рішенням. Жовсткий Quiet Island має ту ж високопродуктивну верхню частину платформи і може бути розроблений на замовлення для активної чистої кімнати з будь-якою висотою, будь-якою геометрією підлоги та різними розмірами інструментів. TMC пропонує широкий спектр різних типів стовпів для задоволення різних потреб, що створює модульні, гнучкі рішення для перепозиціонування та модернізації, спеціальні для інструментів та заводів.

Застосувати фотографії

Завдяки встановленню на нашому тихому острові ® Складність, чутливість та цінність обладнання на підземній платформі, ми не створюємо стандартного каталогу для замовленняНі.

Ми вважаємо, що кожна платформа повинна бути розроблена спеціально для конкретного додатку. Рекомендовані кроки для замовлення наступні:

▪ Повідомте нам, який пристрій або інструмент ви хочете ізолювати. Оскільки ми встановили тисячі пристроїв, ми, можливо, вже розробили платформу, яка відповідає вимогам вашого додатку. Крім того, ми підтримуємо тісні зв'язки з виробниками ступників, вирівнювачів, SEM та інших інструментів, тому ми знаємо ** про нові розміри, форми, зміни ваги та специфікації вібрації землі.

▪ Або, можливо, вам потрібна платформа, яка підходить для активної системи наземної сітки. Замовники зазвичай вибирають платформу розміром 47 х 47 дюймів (1190 х 1190 мм), щоб замінити парні плитки.

▪ Повідомте нам про висоту вашої діяльності вище твердого дна.

▪ Будь ласка, описайте або надайте нам ілюстрацію, яка показує будь-який візерунок отворів у геометрії вашої нижньої підлоги або сталевих балок / решіток.

▪ Будь ласка, надайте нам дані про вібрації землі або обговоріть з нами, як організувати вимірювання цих даних.

▪ Розглянемо чутливість вібрацій інструменту. Наша жорстка, нерезонансна конструкція стовпців забезпечує достатню підтримку для багатьох інструментів. Більш чутливі застосування потребують повітряної або пізоелектричної підтримки