Супермікродатчик тиску CYG502 з номінальним зовнішнім діаметром 2 мм розроблений спеціально для використання в експериментах з гідромеханікою, які вимагають менших розмірів установки. Це найменший датчик тиску серед продуктів нашої компанії.

Чутливі до тиску компоненти CYG502 розробляються та виготовляються за допомогою передових технологій MEMS (Miro Electronic Mechanical Systems). Трьохмірно інтегровані, подвійно оброблені силіконові елементи, чутливі до тиску, мають відмінну лінійну точність. Висока послідовність напруженого мосту Whiston, створеного за допомогою тонкої літографії з іонним впливом, дозволяє йому мати невеликі температурні відхилення. Використання технології прямого зв'язку кремнію з кремнієм, конструкція V-слоту, що дозволяє оптимізувати розмір тонкої плівки, яка може бути використана для зменшення розміру всього чіпу до розміру 1 × 1 мм, а чутливість виходу все ще може досягти 100 кПа, що є ключовим проривом для реалізації ультрамікродатчиків.

Заміна кремнієво-скляного зв'язку в традиційній конструкції на кремнієво-кремнієве зв'язку покращує ефект теплового збігання та зменшує нулеву нестабільність, викликану напругою.

В даний час на ринку є різноманітні продукти моделі вимірювання абсолютного тиску, тип верхнього тиску розробляється.

CYG502A надмікродатчик абсолютного тиску в формі зонду, стандартний зовнішній діаметр Ф2,15 мм, довжина 18 мм, необхідний діапазон 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000 кПа абсолютного тиску.

Датчик ізоляційного тиску CYG502A підтримує позитивний тиск за допомогою чутливих елементів. Тому він застосовується лише для сухих газів, які не є корозійними і непроводними. Він має досить широкий робочий температурний діапазон, до -55 ℃ ~ + 120 ℃, також має дуже відмінні динамічні властивості високої частоти, його мінімальний діапазон чутливих елементів властиві частоти > 200 кГц, час підйому субмікросекунди.

1.Параметри показників продуктивності

2, повний вихід: мінімальне значення 30mv типове значення 80mv максимальне значення 130mv

Імпедансія входу та виходу: мінімальне значення 3 kΩ типове значення 5 kΩ максимальне значення 7 kΩ

4, вхідний робочий струм: 1,5 МА (тип вимірювального напруги) 1 МА (тип абсолютного напруги) (джерело постійного струму)

Диапазон робочих температур: -55 ℃ ~ + 120 ℃

Компенсаційний температурний діапазон: -10 ℃ ~ + 80 ℃

Перенавантаження: 200% номінального обсягу

Чутливість прискорення: < 0,001% FS / g

Диаграма розмірів: CYG502A