Система очищення низькотемпературного каталізу-високотемпературного видалення азоту

Ця система очищення використовує домашній патентований каталізатор, цей каталізатор має довгий термін служби, високу глибину очищення, сильну миттєву волатильність антисировини; Використовуючи процес фізичної адсорбції та хімічної реакції, спочатку видаляйте велику кількість забруднень в інертному газі та водні (H2) при кімнатній температурі H2O, O2, CO, CO2, а потім видаляйте рештки забруднень та N2 через високотемпературну вежу для всмоктування газу, щоб забруднення чистого газу від експорту були нижче 1 ppb. Цей пристрій має довгий термін служби, простоту роботи та інші особливості.

продуктивність

Придатний для використання з сирим газом чистоти не менше 99,999%.

◎ Цей продукт є подвійною структурою, один набір роботи, інший набір регенерації резервного

Висока глибина очищення, експорт різних забруднень <1ppb

Електрохімічне полірування 316 (L) з нержавіючої сталі

Вбудований високоефективний фільтр 0,003 мікрона

◎ Цей очиститель налаштований з попередньою очищення вежі, щоб видалити велику кількість забруднень до дорогоцінного споживання вежі абсорбції, що може продовжити термін служби дорогоцінного споживання абсорбції

Продукт застосування

◎ Очищення електронних промислових газових терміналів з високочистим монокристалічним кремнієм, розширенням чіпів, масовими інтегрованими схемами та виробництвом оптоелектричних продуктів

◎ Напівпровідникове процесне обладнання: CVD, MOCVD, HVPE, диффузійна печ тощо

◎ Очищення газу

Системні параметри