Масова спектрографія плазми з індуктивним сполученням (ICP-MS) - це нова технологія аналізу неорганічних елементів та ізотопів, яка дозволяє швидко виявити майже всі елементи періодичної таблиці одночасно. Технологія ICP-MS перевищує аналітичну здатність традиційних технологій неорганічного аналізу, таких як технологія індуктивно-сполученої плазмової спектральної технології (ICPAES), поглинання атомів графічної печі (GFAAS) та технологія поглинання атомів холодної ртуті (CVAAS) в цілому, і відома як найбільш захоплюючий розвиток сучасних аналітичних технологій.

Сфери застосування технології Agilent ICP-MS включають:
Аналіз зразків навколишнього середовища, включаючи аналіз водопроводних, поверхневих, грунтових, морських вод, а також різних грунтів, відходів тощо;
Аналіз напівпровідникових матеріалів
• аналіз зразків скла, кераміки та металургії;
• геологічні дослідження;
· клінічні дослідження в галузі біологічної харчування та медицини;
• Аналіз ядерних матеріалів
• аналіз зразків нафтохімічної промисловості;
• застосування та дослідження судової медицини;
Останнім часом елементарна вартість та морфологічний аналіз у таких областях, як екологічна токсичність та науки про життя, стали фокусом застосування технології ICP-MS.
Особливості аналізу ICP-MS:
Швидке виявлення майже всіх елементів періодичної таблиці одночасно
Мінімальна межа виявлення (до рівня ppq)
Аналіз ефективності / оптимального співвідношення витрат
Найширший лінійний динамічний діапазон - безпосереднє виявлення концентрацій від ppq до сотень ppm
● Найпростіші спектральні лінії, мінімальні втручання, хороша точність та точність
● Невеликий обсяг необхідний для зразка (уль до мл), швидкість аналізу (1-3 хвилини / зразок)
Гнучкий і різноманітний режим виявлення
Аналіз надмірних слідів забруднення в поширених матеріалах для напівпровідникової промисловості:
твердий: Si; GaAa однокристальний розріз; кварц, карбід кремнію та інші матеріали для печі; Високочистий металевий електрод
рідина: надзвичайно чиста вода; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Аміак і т.д.
газ: SiH4; TE0S; NF3; N2 і т.д.
Agilent ICP-MS дозволяє безпосередньо аналізувати органічні зразки:
Технологія трихолодної плазми Agilent ICP-MS використовується для визначення слідів забруднення на рівні ppt в ряді органічних зразків.
Для деяких з цих зразків, інші методи не можуть отримати задовольні результати, технологія високопотужного блокування правоохолодження плазми є єдиним методом аналізу.
Сильні лужні чистильні засоби - тетраметилгідроксид амоніаку (TMAH) і т.д.
● Зазвичай використовуються органічні розчинники - торфенол, диторфенол, IPA тощо
● Високоматричні зразки - літографічний клей, рідкий кристал, BPSG, PSG та інші надзвичайно леткі чистильні засоби - ацетон, метанол тощо.