Огляд

Подібно до стандартного STACIS Quiet Island, ця компактна версія забезпечує відмінну субгерцову активну скасування вібрації підлоги для великих інструментів, які зазвичай важать понад 1134 кг (2500 фунтів).

У той час як стандартний Quiet Island вимагає піднятої підлоги або ями з глибиною не менше 380 мм (15 дюймів), Compact Quiet Island використовує низькопрофільні ізолятори STACIS IIIc та спеціальні кишеневі платформи, щоб відповідати піднятим висотам підлоги до 200 мм (7,86 дюйма).

На зображеннях нижче показано порівняння висот між стандартною та компактною висотами тихого острова.

Замовити

Через складність, чутливість та вартість обладнання, встановленого на наших платформах Quiet Island®, ми не зберігаємо стандартних номерів каталогу для замовлення. Ми вважаємо кожну установку індивідуальним рішенням. Рекомендована процедура замовлення наступна:

Розкажіть нам, яке обладнання або інструмент ви хочете ізолювати. Через нашу встановлену базу, ймовірно, що ми вже розробили дизайн платформи для вимог вашого додатку. Крім того, ми підтримуємо тісний контакт з виробниками інструментів Stepper, Aligner, SEM та інших виробників інструментів, щоб підтримувати поточний розмір, форму, зміни ваги та специфікації вібрації підлоги.

Надайте нам дані про вібрації підлоги або обговоріть з нами, як організувати вимірювання цих даних.