Огляд активної ізоляційної платформи

STACIS ® III є гнучкою системою активної вібраційної ізоляції. Система платформи активної ізоляції вібрацій STACIS використовує передові інерційні датчики вібрацій, передові алгоритми управління та пізоелектричні актуатори, які фільтрують рух землі шляхом безперервного вимірювання руху землі, а потім розширюють та скорочують пізоелектричні актуатори, щоб усунути вібрації в режимі реального часу.

STACIS**, який спочатку був розроблений для ізоляції точних мікрографічних, вимірювальних та тестових пристроїв на передових напівпровідникових заводах, тепер є галузевим стандартним рішенням для чутливих інструментів** в шумних умовах, включаючи, але не обмежуючись, напівпровідникові заводи, лабораторії аналізу збоїв, дослідження нанотехнології, нановиробні установки та дослідницькі центри матеріалів.

Система активної вібраційної ізоляції STACIS III включає в себе абсолютно новий поліпшений цифровий контролер DC-2020. Ця абсолютно нова система управління ** має новий двоядерний процесор, Ethernet та серійний порт USB на передній та задній панелях, що надає користувачам сучасний і простий у використанні графічний користувацький інтерфейс (GUI). З сотнями успішних установок по всьому світу, STACIS є ідеальною вібраційною ізоляцією для інструментів, чутливих до вібрацій.

Переваги активної ізоляційної платформи STACIS III

STACIS в сотні разів важчий, ніж повітряні вібраційні ізолятори, без обмежень повітряної вібраційної ізоляції. У ньому немає «м'якої» підвіски, і на відміну від системи активного повітря, STACIS може бути розміщений під інструментом з внутрішньою системою активної вібраційної ізоляції повітря, що дозволяє обидві системи працювати в стані **.

Унікальна серійна конструкція та патентована високосилова піеоелектрична технологія забезпечують широку активну пропускну здатність 0,6 Гц***150 Гц та активну ізоляцію вібрацій**на 90% від 2 Гц.

Особливості активної ізоляційної платформи STACIS III

▪ ** Новий поліпшений цифровий контролер DC-2020 з простим у використанні графічним користувацьким інтерфейсом

▪ Ізоляція починається з 0,6 Гц, досягає 40% *** 70% при 1 Гц

▪ Вертикальна та горизонтальна ізоляція перевищує 90% при частотах 2 Гц і вище

▪ Зниження вимог до інфраструктури та витрат на будівництво для роботи навіть при великих зовнішніх вібраціях

▪ Ефективний діапазон ізоляції від 0,6 Гц до 150 Гц

▪ Отримати широке визнання та підтвердження багатьох користувачів

▪ 6-напрямкова конструкція твердої установки без повітряної підвіски

▪ Потужна система управління без регулярної перекалібрування

▪ Дизайн точки використання, безперервно сумісний з існуючими вібраційними системами клієнта

▪ При зміні зовнішнього середовища система автоматично регулюється до різних зовнішніх вібрацій

▪ Стаціс ТМК ® Технологія активного девібрації за допомогою пізоелектричного приводу

▪ Цифровий контролер з графічним користувацьким інтерфейсом (GUI) на базі ПК

▪ Підвищення продуктивності, якості та рівня готової продукції клієнтів.

▪ Відповідає стандарту RoHS

▪ ** Широка пропускна здатність активної ізоляції, ** низькочастотний ефект ізоляції

▪ Активне усунення вібрацій Ягца ** ізоляція вібрацій в основному в діапазоні частот 0,6-6 Гц

▪ Стекуваний дизайн

▪ Активна тверда конструкція замість м'якої підвіски, без низькочастотного дріфу, активні елементи з'єднані з жорсткою пружиною

▪ Пасивна пружина фільтрує резонанс навантаження від датчика STACIS і вимагає дуже мало налаштування, навіть без налаштування

▪ Сумісний з внутрішнім ізолятором інструменту через несумісність імпеданції

▪ Навантаження до 2000 кг

▪ Активна вібраційна ізоляція на ринку**

Активна ізоляція платформи

Випробування корисного навантаження 4 500 фунтів (2 045 кг) за допомогою аналогової вібрації VC-C (500 мкм/с, 12,5 мкм/с RMS)

Специфікації активної ізоляційної платформи

Специфікації продуктивності

Користувачі та застосування STACIS

1. мікроелектроніка, напівпровідники

▪ Виявлення чіпів

▪ Технологія мікролітографії

▪ Калібрування маски

Наукові дослідження, нанотехнології

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. лазерні станції

▪ Науки про життя, медикаменти

4 Промислові застосування

▪ Точна обробка

Чому потрібна активна ізоляція?

▪ Сильне усунення вібрацій землі починаючи з <1 Гц, пневматичні платформи не можуть грати ефективну ізоляцію вібрацій на цій низькій частоті

▪ Підвищення якості та продуктивності

▪ Можливість зображення з меншими особливостями

▪ Передові дослідження

▪ Більш стабільна, ніж пневматична платформа

▪ Рішення *, що відповідають стандартним параметрам установки на місці SEM

▪ Зниження витрат на нові лабораторні та дослідницькі обладнання

Чому активна вібраційна ізоляція STACIS

▪ У центрі уваги дослідників, щоб забезпечити максимально ** безпосереднє середовище.

▪ ** Сильна система ізоляції низькочастотних вібрацій на ринку.

▪ В даний час всі виробники SEM опублікували вимоги до установки параметрів вібрації, які потребують активної вібраційної ізоляції.

▪ STACIS**, винайдений в 1990-х роках, був розроблений, розроблений та встановлений TMC тисячами систем активної вібраційної ізоляції, що є надійним рішенням для активного контролю вібраційної ізоляції.

STACIS в сотні разів жорсткіший, ніж пневматичні ізолятори

Стабілізаційний час в відповідь на перешкоди значно скорочується завдяки унікальній послідовній конструкції, ідеально підходить для механічного виробництва, динамічних навантажень, лазерів або незалежних жорстких стілів, які вимагають встановлення джерела світла.

Наступні переваги є в галузі **

▪ Пропускна здатність активної ізоляції STACIS 0,6 Гц - 150 Гц

▪ 6 градусів вільності активного вибрації усунення, вибрації 8-10dB при 1 Гц

▪ Ізоляція вібрацій від 2-3 Гц до 90% (20 дБ)

Професійні екологічні дослідження

Дослідження навколишнього середовища до та після установки, включаючи вібрації, магнітне поле, звукові хвилі

Сертифікація екологічної системи після встановлення

▪ Доскональні послуги екологічного дослідження

▪ Професійний екологічний звіт

▪ Виявлення вібрацій, магнітних полів, звукових хвиль та рішення

▪ TMC рекомендує користувачам практичні рішення на основі свого досвіду

▪ Більше 40 років досвіду роботи в галузі **

Застосувати фотографії