Активна ізоляційна платформа STACIS IIIc-Global supplier

К?мната 1019, буд?вля 3, лан 1000, дорога Л?нгшань, новий район Пудун, Шанхай

Огляд

STACIS IIIc є компактною версією активної вібраційної ізоляції STACIS III**. Він забезпечує однакову відмінну вібраційну ізоляцію на зменшеній висоті.

STACIS IIIc ідеально підходить для використання на подвижних підлогах без підлоги або з дуже низькою підлогою, оскільки висота стандартної системи STACIS III може зробити інструмент занадто високим.

У конфігурації з трьома ізоляторами висота ізолятора менша на 60% від звичайної висоти STACIS III. У системах з більш ніж 3 ізоляторами висота буде від 60% до 70%, залежно від налаштування ефективного навантаження. Для отримання додаткової інформації дивіться специфікації нижче.

Переваги STACIS IIIC

У порівнянні зі звичайною системою STACIS III висота ізолятора** зменшилася на 42% і продуктивність не знизилася.

STACIS в сотні разів міцніший, ніж повітряні вібраційні ізолятори, без обмежень повітряної вібраційної ізоляції. У ньому немає «м'якої» підвіски, і на відміну від системи активного повітря, STACIS може бути розміщений під інструментом з внутрішньою системою активної вібраційної ізоляції повітря, що дозволяє обидві системи працювати в стані **.

Унікальна серійна конструкція та патентована високосилова пізоелектрична технологія

Досягає широкої активної пропускної здатності від 0,6 Гц до 150 Гц і активної ізоляції вібрацій на 90% від 2 Гц.

продуктивність

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

Специфікації продуктивності

специфікації

Активна свобода	6
Активна пропускна здатність	0.6 Hz - 150 Hz
Пасивні частоти	18 Гц вертикальна і горизонтальна
Ефективна частота активного резонансу	0.5 Hz
Ізоляція при 1 Гц	40% - 70%
Ізоляція при ≥ 2 Гц	≥90%
10 фунтів (4,5 кг) стабільний час після крокового вводу (Зменшення 10:1)	0,3 секунди
Внутрішній шум	<0.1 nm RMSd>
Диапазон робочого навантаження кожного ізолятора	Низька несущість: 400 - 1100 фунтів (181 - 499 кг) Середня потужність: 900 - 2100 фунтів (408 - 953 кг) Висока несуща здатність: 1900 - 4500 фунтів (862 - 2041 кг)
Жорсткість (1000 фунтів / 454 кг маси, ізолятор середньої несущої здатності)	40 000 фунтів / дюйм (73 х 10)⁵Корова / м)
Магнітне поле, що випускається з відстані ізолятора ** 4 дюйма (102 мм)	<0.02 μG broadband RMSd>

Вимоги до конструкції, розмірів, середовища та корисності ізолятора

Навколишнє середовище та безпека	Відповідає стандартам CE та RoHS
Активна вібраційна ізоляція	** Невеликий пізоелектричний активатор вагою 3300 фунтів (1500 кг) отримує сигнал від підсилювача високої напруги з виходом до 800 В постійного струму. Вертикальний привод підтримує корисне навантаження з ізоляцією вібрацій
Пасивний ізолятор	Індивідуальний жорсткий амортизований еластомер (без джерела стисненого повітря)
Компоненти датчика вібрації	Датчик інерції типу сейсмічного детектора для вимірювання вібрації землі під ізолятором і забезпечення напруги, пропорційної швидкості руху вібрації
Активний цикл управління зворотною інформацією	Вимірювання, обробка та зниження вібрацій землі під пружинами, що підтримують вібраційну поверхню
Розмір ізолятора (ширина х глибина х висота)	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
Вага ізолятора	53 фунти (24 кг)
Робоча температура	50° - 90° F 10° - 32° C
Температура зберігання	-40° - 130° F -40° - 55° C
Вологість	30 - 60%
Системні вимоги до живлення	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Відповідає стандартам CE
Переміщення землі	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
Кількість ізоляторів для кожної системи	принаймні три
Додаткові додатки	Ламіровані платформи з нержавіючої сталі, рами, вертикальні труби, вирівнювальні пристрої, сейсмичні пристрої, підйомні кришки

Контролер DC-2020

Розміри (Ширина х Глибина х Висота)	19 х 8,5 х 1,75 дюймів 483 x 216 x 45 mm
вага	6,3 фунта (2,9 кг)
Процесор	150/75 МГц подвійне ядро
Швидкість вибору	10 kHz
Аналоговий вихід	16 каналів
Аналоговий вхід	16 каналів
Світло стану	Один світлодіод
Порт передньої панелі	1 серійний USB 2.0 Серійний мікро-USB 1 Ethernet RJ-45 2 БНК
Порт задньої панелі	1 серійний USB 2.0 1 Ethernet RJ-45 1 традиційний серійний RS-232 DB-9 для традиційних ізоляторів STACIS 2100
Користувацький інтерфейс	Рідкий кристальний дисплей на передній панелі Меню символів у супертерміналі Розширений графічний інтерфейс для Microsoft Windows Вбудований графічний інтерфейс Ethernet

Користувачі та застосування STACIS
1. мікроелектроніка, напівпровідники
▪ Виявлення чіпів
▪ Технологія мікролітографії
▪ Калібрування маски
Наукові дослідження, нанотехнології
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. лазерні станції
▪ Науки про життя, медикаменти
4 Промислові застосування
▪ Точна обробка

Навіщо вибрати активну систему?
▪ Сильне усунення вібрацій землі починаючи з <1 Гц, пневматичні платформи не можуть грати ефективну ізоляцію вібрацій на цій низькій частоті
▪ Підвищення якості та продуктивності
▪ Можливість зображення з меншими особливостями
▪ Передові дослідження
▪ Більш стабільна, ніж пневматична платформа
▪ Рішення *, що відповідають стандартним параметрам установки на місці SEM
▪ Зниження витрат на нові лабораторні та дослідницькі обладнання

Чому активні системи вибирають STACIS
▪ У центрі уваги дослідників, щоб забезпечити максимально ** безпосереднє середовище.
▪ ** Сильна система ізоляції низькочастотних вібрацій на ринку.
▪ В даний час всі виробники SEM опублікували вимоги до установки параметрів вібрації, які потребують активної вібраційної ізоляції.
▪ STACIS**, винайдений в 1990-х роках, був розроблений, розроблений та встановлений TMC тисячами систем активної вібраційної ізоляції, що є надійним рішенням для активного контролю вібраційної ізоляції.

STACIS на сотні жорсткіше, ніж пневматичні ізоляторив рази
Стабілізаційний час в відповідь на перешкоди значно скорочується завдяки унікальній послідовній конструкції, ідеально підходить для механічного виробництва, динамічних навантажень, лазерів або незалежних жорстких стілів, які вимагають встановлення джерела світла.

Наступні переваги є в галузі **
▪ Пропускна здатність активної ізоляції STACIS 0,6 Гц - 150 Гц
▪ 6 градусів вільності активного вибрації усунення, вибрації 8-10dB при 1 Гц
▪ Ізоляція вібрацій від 2-3 Гц до 90% (20 дБ)

Професійні екологічні дослідження
Дослідження навколишнього середовища до та після установки, включаючи вібрації, магнітне поле, звукові хвилі
Сертифікація екологічної системи після встановлення
▪ Доскональні послуги екологічного дослідження
▪ Професійний екологічний звіт
▪ Виявлення вібрацій, магнітних полів, звукових хвиль та рішення
▪ TMC рекомендує користувачам практичні рішення на основі свого досвіду
▪ Більше 40 років досвіду роботи в галузі **

Застосувати фотографії